ATA-2000系列高壓放大器在壓電陶瓷方面的應用

隨著精密工程和微細工程的迅速發(fā)展, 亞μm 和nm 級定位技術和微動伺服技術已成為微機電系統(tǒng)（MEMS）、超精密加工、微電子、光電子和生物工程等前沿學科的關鍵技術。

壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)作為理想的nm 微位移元件, 具有體積小、位移分辨率高、頻響高、承載力大、無噪聲、不發(fā)熱等特點, 得到了廣泛應用。但是由于壓電陶瓷的遲滯、蠕變等效應, 給壓電陶瓷的控制帶來了困難。而驅(qū)動放大器則是引起遲滯和蠕變現(xiàn)象主要的原因之一。因此，壓電陶瓷驅(qū)動放大器已成為目前壓電陶瓷致動器應用中的關鍵技術之一。

    壓電陶瓷致動器一般為堆疊結(jié)構(gòu)。在外電場的作用下，每個壓電陶瓷片相當于1個平行板電容器。因此，驅(qū)動放大器的負載壓電陶瓷致動器為容性負載，其電容量通常達幾μF。當存在外加電場時，根據(jù)逆壓電效應, 壓電陶瓷片產(chǎn)生垂直方向和水平方向的變形, 輸出位移。在已知壓電陶瓷致動器模型的前提下, 通過一定的控制方法和控制算法, 能夠使壓電致動器的動態(tài)響應得到較大提高。

ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是精密位移系統(tǒng)中壓電陶瓷驅(qū)動研發(fā)測試的理想選擇。  

ATA-2000系列高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為MEMS領域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器，設計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為MEMS測試客戶應用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡，方便用戶選擇對應匹配阻抗。

ATA-2000系列高壓放大器的增益數(shù)控可調(diào)，通過0.1的步進對于信號進行放大，方便用戶調(diào)試。同時具有100:1的信號監(jiān)控口，方便用戶實時觀測輸出波形的變化。采用液晶顯示，操作簡單易懂.