超聲波功率放大器原理，安泰超聲功率放大器在MEMS測(cè)試中的應(yīng)用

功率放大器的特點(diǎn)：

（1）信號(hào)發(fā)生器輸入的信號(hào)最大是20Vpp，通過功率放大器可以提升電壓和功率；

（2）是具有可增益調(diào)節(jié)的放大器，實(shí)質(zhì)是一個(gè)電壓電流放大器；

（3）不容易引入現(xiàn)場(chǎng)干擾信號(hào)，電路受連接電纜長度變化的影響不大，幾乎可忽略不計(jì)，可用于壓電式傳感器遠(yuǎn)距離傳輸放大；

（4）數(shù)控增益系統(tǒng)可以快速調(diào)節(jié)需要的輸出電壓，兼容市面所有主流的任意波形函數(shù)信號(hào)發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)信號(hào)放大；

（5）頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作可靠和重量輕。

【安泰電子】功率放大器與超聲波發(fā)生器：

功率放大器是用來放大超聲波發(fā)生器產(chǎn)生的信號(hào)，超聲波發(fā)生器來產(chǎn)生一個(gè)特定頻率的信號(hào)，這個(gè)信號(hào)可以是正弦信號(hào)，也可以是脈沖信號(hào)，這個(gè)特定頻率是換能器工作的頻率。

超聲波發(fā)生器的輸出功率調(diào)節(jié)：

當(dāng)超聲波發(fā)生器接入電壓的發(fā)生變化時(shí)，發(fā)生器的輸出功率也隨著發(fā)生變化。會(huì)使超聲波換能器的機(jī)械振動(dòng)不穩(wěn)定，導(dǎo)致工作效果不佳。因此需要穩(wěn)定輸出功率，通過調(diào)節(jié)放大倍數(shù)，具體分為粗調(diào)（1step）和細(xì)調(diào)（0.1step）兩種，通過功率反饋信號(hào)相應(yīng)調(diào)整功率放大器，使得功率放大穩(wěn)定。

隨著MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)的發(fā)展，目前已經(jīng)廣泛涉及醫(yī)學(xué)、生物、航天航空等各個(gè)領(lǐng)域，由于各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的工作環(huán)境不同，所以對(duì)其進(jìn)行機(jī)械動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試和研究不僅僅局限于常態(tài)環(huán)境中。研究MEMS產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性必須考慮不同應(yīng)用領(lǐng)域的環(huán)境因素，如高溫環(huán)境、低溫環(huán)境、高加速度環(huán)境、真空環(huán)境、高腐蝕性環(huán)境中的一種或者多種，這是MEMS器件設(shè)計(jì)、制作和封裝等技術(shù)的關(guān)鍵，滿足器件向智能化和集成化發(fā)展方向的需求。

微機(jī)電系統(tǒng)示意圖

對(duì)于大多數(shù)MEMS傳感器和執(zhí)行器來說，能夠使其正常使用和發(fā)揮其功能性，主要是通過內(nèi)部可動(dòng)微結(jié)構(gòu)在允許的范圍內(nèi)進(jìn)行一定變形和位移來實(shí)現(xiàn)的，因而對(duì)MEMS微結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)測(cè)試就必須使其處于振動(dòng)的狀態(tài)，也就是對(duì)其進(jìn)行激勵(lì)。理想的MEMS微結(jié)構(gòu)激勵(lì)方法應(yīng)該具有三個(gè)特點(diǎn)：一是非接觸性；二是非破壞性；三是較大的激振帶寬。MEMS模態(tài)測(cè)試的激勵(lì)方法主要包括有靜電激勵(lì)、磁激勵(lì)、熱激勵(lì)、壓電激勵(lì)、聲激勵(lì)和基于壓電陶瓷的底座激勵(lì)。在這些激勵(lì)方法中，選擇合適的激勵(lì)裝置尤為重要，Aigtek超聲功率放大器最大輸出電壓10KV,最大輸出功率10KW，最大輸出電流64Ap，帶寬（-3dB）高達(dá)DC~25MHz，電壓增益數(shù)控可調(diào)。滿足不同壓激勵(lì)指標(biāo)的需求。它還被廣泛應(yīng)用在細(xì)胞微粒分選，電場(chǎng)粒子偏轉(zhuǎn)，無線電能傳輸?shù)妊芯款I(lǐng)域。