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  • 功率放大器在UV-CMP拋光機中的應用
    20261-20

    UV-CMP拋光機有兩種工作模式:連接超聲振動信號和關閉超聲振動信號接入。UV-CMP拋光機的設備工作步驟如下:第一,超聲信號發(fā)生器生成一定頻率和波形的電信號;第二,超聲電信號傳輸給功率放大器,使電信號達到超聲轉(zhuǎn)換裝置工作的電壓和功率;第三,放大的電信號傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置,使得超聲電信號轉(zhuǎn)換成同頻率的機械振動。經(jīng)過上面的三個步驟,CMP拋光機升級為UV-CMP,傳統(tǒng)的化學機械拋光也升級為超聲振動輔...

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